home > 회사소개 > 기술보유현황
1특허 제10-1308051호 초고순도 불산(HF)의 제조방법
2특허 제10-1358675호 고순도 암모니아 정제방법
3특허 제10-1406132호 이산화탄소를 이용한 식각 및 건조 일원화 장치 및 방법
4특허 제10-2021312호 방폭형 히팅맨틀